3D광계측실험실 (3D optical metrology laboratory))
조선대학교 광기술공학과 3D 광계측 실험실은 2011년 주기남 교수님이 광기술공학과에 부임하면서 구성된 광기술 응용 실험실입니다. 3D 광계측 기술은 광원, 광학부품, 광검출기, 정밀 구동 스테이지 등의 시스템 기술 분야로 반도체, LCD, LED, 태양광 제품과 같은 첨단 IT 제품들을 생산하기 위한 필수적인 연구 분야입니다. 본 연구실에서는 이러한 3D 광계측 시스템을 개발하고 새로운 측정 원리와 성능 개선 연구에 초점을 맞추고 있습니다.
보유장비
- Home-built imaging ellipsometry
- Yb mode-locked laser
- Spectrometer
- Super continuum laser